晶圆，硅片及其他产品的颗粒、污染物、形貌及材料表征等专业化检测服务。

适用范围：

硅片（抛光片、外延片、SOI片、氩退火片、碳化硅片、硅基氮化镓外延片，晶圆（2寸、4寸、6寸、8寸、12寸）

检测项目：

• 表面金属离子分析：Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn

• 表面有机污染物分析：油脂、蜡、润滑油等

• 表面粗糙度分析

• 载流子浓度

• 电阻率

• 碳氧含量

• 表面缺陷检测：凸纹、凹纹、崩边、缺口、裂纹、划伤、塌边、波纹、机械损伤、表面颗粒沾污等

• 施主杂质：铝、镓、锌、镁、铁、铜等

• 受主杂质：硼、铝、镓、铟等

• 掺杂元素：镁、铝、锌、镓、磷、砷、硒等

检测仪器：

• 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)

• 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）

• 离子色谱仪（IC）

• 全反射X射线荧光仪（TXRF）

• 汞探针CV

• D-SIMS

• XRT

• Candela 8520